【ナノレベルの表面粗さ・形状を短時間・広範囲に測定。】

小間番号: 5G-26

nano tech 2017では新人賞を受賞しているツクモ工学は埼玉県のブース内にて出展。 光学部品、光学機器、レーザー製品の設計・製造を行なう総合オプトロニクスメーカーである。

 

「ナノ粗さ・高さ形状計測器 TN-A1」

レーザー光による非接触方式にてナノレベルの表面粗さや段階高さを広範囲に渡り、計測する。その範囲は25×25mmの範囲に及ぶ。ナノ材料を、短時間・高精度に測定できる分野として、ウェハ表面、半導体チップ表面、金属研磨面などの測定に最適だ。その他分野の材料についてもナノレベルで表面測定可能とする。

 

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